面精度：面型精度采用精密抛光与理想平面的偏差量来表示。因为使用可以测量波面的干涉仪来测量，所以也被称为反射波面精度。面型精度的干涉条纹数的单位是λ,λ是指干涉仪所使用的氦氖激光器的波长为 632.8nm。另外，表示面型精度有两个参数:PV和 RMS 值。PV值是 Peak to Valley(峰值与谷值的差值)，RMS值是 Root MeanSquare(均方根值)。

表面质量：这是评估研磨或镀膜后的表面缺陷的一个参数，通常用划痕(scratch)和凹坑 (dig)两种数值的组合来表述。

激光损伤阈值：当高功率的脉冲激光照射到光学元件时，可能会造成光学元件的膜层或玻璃材料的损伤。当光学元件开始遭到损伤时的激光能量密度(J/cm?)称为激光损伤阈值。相关阅读：如何计算滤光片的激光损伤阈值

P 偏光 S 偏光：当光线斜入射到玻璃表面时，其反射率会随入射光线的偏光方向发生变化。在玻璃表面的法线和入射光束所构成的平面内振动的光波称为P偏光，与P偏光正交方向振动的光波称为S偏光。其他方向的偏振状态可以认为是不同比例的 P 偏光和 S 偏光合成的结果。P 偏光和S偏光的反射率由入射角度和玻璃的折射率所决定，因为他们遵循的法则不同，所以P偏光和S偏光的反射率也是不同的。

光束偏转角：在激光東光路中插入光学元件时，光東方向会发生偏转，与原光東方向相比所偏转的角度称为光束偏转角。光束偏转角由光学元件的平行度和折射率决定。

偏心：以透镜的外径为基准，转动透镜时，如果是理想透镜，透过光束或者聚光光束将不会变动;如果理想透镜的光轴和透镜外径的中心轴存在角度偏差时，透过光束将按周围轨迹运动。与转动轴相比透过光束所摆的角度称为偏心。